零摩擦、纳米级精密运动

应用领域

电子半导体制造

高精密气浮技术在电子半导体制造领域的应用是至关重要且无处不在的。它几乎是所有高端半导体设备的“标配”技术,是推动半导体技术节点不断微缩的关键使能技术之一。


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